Blok docelowy tytanu

Zanieczyszczenia w ciałach stałych bloku docelowego tytanu oraz tlenu i wilgoci w porach są głównymi źródłami zanieczyszczenia w zdeponowanych filmach. Cele dla różnych aplikacji mają różne wymagania dotyczące różnych zawartości zanieczyszczenia. Na przykład cele czystego aluminium i aluminium dla przemysłu półprzewodnikowego mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i zawartości elementów radioaktywnych.

Aby zmniejszyć pory w docelowych ciałach stałych i poprawić wydajność folii napylonych, cel jest zwykle wymagany, aby mieć wysoką gęstość. Gęstość celu wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także wpływa na właściwości elektryczne i optyczne folii. Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu. Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości celu pozwala celowi wytrzymać naprężenia termiczne procesu rozpylania. Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności materiału docelowego, wielkości ziarna i rozkładu wielkości ziarna.
Zwykle celem jest polikrystaliczna struktura, wielkość ziarna może być od mikrona do milimetra. W przypadku tego samego rodzaju celu szybkość rozpylania celu o drobnych ziarnach jest szybsza niż w celu z gruboziarnistymi ziarenami; a rozkład grubości folii osadzony przez rozpylanie celu z niewielką różnicą wielkości ziarna (równomierny rozkład) jest bardziej jednolity.