Materiał tytanowy ma metaliczny połysk i jest plastyczny. Dźwięk podróżuje przez niego z prędkością 5090 m/s. Głównymi cechami tytanu są jego niska gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna i łatwość obróbki. Nowy stop tytanowy ma dobrą odporność na ciepło i może być używany przez długi czas na 600 ℃ lub wyższy. Titanium o wysokiej walce jako ważne funkcjonalne cienkie materiały z folii w dziedzinie informacji elektronicznych, w ostatnich latach, wraz z szybkim rozwojem chińskich obwodów zintegrowanych, płaskich wyświetlaczy paneli, energii słonecznej i innych branż, popyt gwałtownie rośnie. Technologia rozpylania magnetronowego jest jedną z kluczowych technologii przygotowania materiałów z cienkimi filmami, a cel rozpylania tytanu o wysokiej czystości jest kluczowym zużyciem w procesie rozpylania magnetronowego, który ma szeroką perspektywę aplikacji rynkowych. Rozwój wysokiej wydajności docelowego rozpylania tytanu jest ważnym środkiem realizacji niezależnego rozwoju kluczowych materiałów dla branży produkcji informacji elektronicznej oraz promowania transformacji i modernizacji przemysłu tytanowego do wysokiej klasy.
Zastosowania docelowe tytanu i wymagania dotyczące wydajności rozpylanie magnetron - TI są używane głównie w branży elektronicznej i informacyjnej, takich jak zintegrowane obwody, wyświetlacze z płaskimi paneli oraz meble domowe oraz dekoracyjne powłoki przemysłu motoryzacyjnego, takie jak szklana dekoracyjna powłoka i dekoracja kół.
Różne wymagania docelowe branżowe są również bardzo różne, w tym: czystość, mikrostruktura, wydajność spawania, dokładność wymiarowa kilku aspektów, określone wskaźniki są następujące.
1) czystość: 99,9% dla nieintegrowanych obwodów; 99,995% i 99,99% dla obwodów zintegrowanych. 2) mikrostruktura: obwody nieintegrowane: Średnia wielkość ziarna mniejsza niż 100 μm; Zintegrowane obwody: Średnia wielkość ziarna mniejsza niż 30 μm, średnia wielkość ziarna ultra-fine kryształów mniejsza niż 10 μm
3) Wydajność spawania: obwody nieintegrowane: lutowanie, monolityczne; Zintegrowane obwody: monolityczne, lutowe, spawanie dyfuzyjne
4) dokładność wymiarowa: dla nieintegrowanych obwodów: 0,1 mm; W przypadku nieintegrowanych obwodów: 0,01 mm
1. Magnetron rozpylający technologię przygotowania celu
Technologia przygotowania surowców docelowych TI Według procesu produkcyjnego można podzielić na ślady topniejące wiązkę elektronów i próżniowe samokonsumpum pieców topnień (dwie kategorie), w procesie przygotowania docelowego, oprócz ścisłej kontroli czystości materialnej, gęstości, gęstości, gęstości, gęstości, gęstości , wielkość ziarna i orientacja krystaliczna, warunki procesu oczyszczania ciepła, późniejsze formowanie i przetwarzanie muszą być również ściśle kontrolowane, aby zapewnić jakość celu. W przypadku surowców TI o wysokiej czystości są zwykle najpierw stosowane w metodzie elektrolizy stopowej w celu usunięcia wysokiej temperatury topnienia elementów zanieczyszczenia w matrycy Ti, a następnie do dalszego oczyszczania stosuje się topienie wiązki elektronów próżniowych. Topienie wiązki elektronowej próżniowo jest zastosowanie wysokoenergetycznych bombardowania strumienia wiązki elektronów powierzchni metalowej, a następnie stopniowego wzrostu temperatury, aż metal się stopi, ciśnienie pary elementów będzie preferencyjnie uwięzione, a ciśnienie pary elementów elementów elementów z Małe pierwiastki pozostają w stopie, tym większa różnica między ciśnieniem pary elementów zanieczyszczenia a podłożem, tym lepszy efekt oczyszczania. Zaletą rafinacji próżni po stopieniu jest to, że elementy zanieczyszczenia w matrycy Ti są usuwane bez wprowadzania innych zanieczyszczeń. Dlatego, gdy topienie wiązki elektronów 99,99% elektrolityczne Ti w środowisku wysokiej próżniowej, elementy zanieczyszczenia (żelazo, kobalt, miedź) w surowcu, którego ciśnienie pary nasycenia jest wyższe niż ciśnienie pary nasycenia samego elementu Ti będą preferencyjnie ulotne , aby zawartość zanieczyszczenia w matrycy została zmniejszona, osiągając w ten sposób cel oczyszczenia. Połączenie dwóch metod można uzyskać ponad 99,995 czystości metalu o wysokiej czystości.
2. TI Materiał docelowy tytanowe Wymagania techniczne
Aby zapewnić jakość zdeponowanej folii, jakość materiału docelowego musi być ściśle kontrolowana przez dużą liczbę praktyk, główne czynniki wpływające na jakość materiału docelowego TI, w tym czystość, średnią wielkość ziarna, orientację krystalograficzną i jednorodność strukturalna , geometria i rozmiar.
Contact Now